名称

900℃RTP滑轨炉

炉体结构

·带有两个冷却风扇的双层不锈钢结构使得壳体表面温度低于60℃

·炉子底部装有一对滑轨：炉子可以自动从一端滑向另一端来回滑动

主要参数

工作温度：*高900℃（<10min）；

800℃（<30min）；600℃（长期）

*快升温速率：50℃/min

炉管尺寸：Ф100mm O.D×1400mm

加热腔体尺寸：Ф110mm O.D×1400mm

功率：12KW

电压：AC220V 单相 50Hz

温控系统

·PID 自动控制，可设置30段升降温及恒温程序

·带过热和断偶保护功能，实验中无需人员看护

·热偶: K型

·带自整定功能

·控温精度: ±1℃

·设置有RS485通信端口

·在这个炉子上，包括了一个mts-02型控制软件，用于电脑控制升降温程序

滑轨

·滑轨长度:1300 mm

·双滑轨采用镀Cr的钢管

·直流电机驱动炉体左右移动

滑动控制

·由控制器自动控制炉体移动。当加热程序完成后，炉体在设定的速度下从右向左滑动同时风扇会在加热区域内加快冷却。

·滑动距离：340mm ；滑动速度可调

热电偶

K 型, 1/4" dia ×24" length

加热元件

红外灯管（8根，每根功率为1.5KW）

真空法兰

不锈钢法兰安装在炉管的两边。

流量计

流量计量程范围为：16-160 ml/min

真空度

腔体真空度高低取决于真空泵。(机械泵10E-2 torr；分子泵10E-4torr )

注意：真空泵不包含在标配内

尺寸

460L×330W×540Hmm ( 炉体) ：1800L×450W×700Hmm ( 炉子+滑轨)

净重

约80Kg

应用注意事项

·炉管内气压不可高于0.02MPa

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全。

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·不建议不放坩埚将样品直接放入炉管内，这样对炉管的污染及损耗较大，建议您根据不同炉管尺寸我公司选购合适规格的坩埚。

·石英管的长时间使用温度＜1100℃

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

·在进行化学气相沉积后，石墨烯可从金属催化剂转移到另一个基片衬底上，此法可被广泛应用制备二维材料。通过CVD法生长的石墨烯，表面平整度高且无残渣。

保修期

一年保修，终身技术支持。

免责声明

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