名称

900℃小型RTP炉

主要参数

*高温度：900℃

电压：220V, 50Hz

功率:12KW

加热元件：8根红外灯管

炉体结构

.带风冷的双层铸钢外壳使得炉体表面温度低于60℃（参考值）

·炉膛采用高纯的氧化铝纤维，程度上减少了热量的损失

·不慎在加热过程打开炉盖，配备的连锁保护开关会自动切断电源

.此设备标配一个机械压力表

炉管

石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性±5℃

温控系统

.智能化30段可编程控制

.包含一款808P型温度控制器

.都是采用PID方式调节

.控温度：±1℃

真空法兰

.KF-25D型不锈钢高真空法兰上配有两个高温硅胶O形圈并安装有针阀和水冷套。

·在冷却水开启的情况下设备可长期在≦600℃温度下工作。

·循环水流量:0.5 m3/h

·法兰上安装有滑轨可直接推拉操作，取放样品简单便捷，同时也可满足其他特殊工艺的要求。

·可插入式的铠装热电偶，使测得样品温度更加

注意事项

·炉管内气压不可高于0.02MPa

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·石英管的长时间使用温度＜1100℃

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

·这款炉子也可以被改造成RTE,CSS或HPCVD炉使用，同时石墨坩埚被碳化硅涂层

可选配系统

.USB接口，无纸记录仪，随机打印系统

.坩埚

.1900型材料

保修期

一年保修，终身技术支持

免责声明

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