氢气炉主要是用于半导体材料、纳米材料、光线材料等在氢气保护下的各种个复杂工艺,具有多种工艺气体的流量控制。是科研、数学、生产、新材料研发的重要设备。
氢气炉 的详细介绍
氢气炉简介
- 用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压库和实现自动控制
- 采用压力控制系统、闭环控制、稳定性高
- 采用耐腐蚀不锈钢管件、阀门确保气路密性
- 具有完善到额报警功能及安全互锁装置
- 具有良好的人机界面、灵活的工艺性能
技术参数
控制精度 |
±1℃ |
电网电压 |
380V±10% |
工作温度 |
8001700℃ |
冷却系统分置 |
出料口及加热炉体两侧 |
温度均匀性 |
±5℃ |
报警功能 |
超温、断水、断电报警 |
保护气体 |
H2、N2 |
温控方式 |
自动/手动 |
真空度 |
-0.1Mpa |
进料方式 |
电动/手动 |
炉膛尺寸 |
160×166马蹄形管(可定制) |
功率 |
≤80KW |
炉门、进出料口材质:310不锈钢 |
可通多种气体:氧气、氮气、氩气、氢气 |
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微电脑控制、操作方便,可编程,自动升温,自动保温,自动降温 |
备注:可选配系统:1、自动泄压进气系统;2、混气供气系统;3、真空机组;4、USB系统,无纸记录仪,随机打印系统;5、坩埚;6、1900型材料
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