小型滑动PECVD管式炉系统OTF-1200℃-50S-PE-SL
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：小型滑动PECVD管式炉系统OTF-1200℃-50S-PE-SL
- 电炉类型：实验电炉
- 电炉品牌：西格马
- 电炉规格：
- 电炉温度：℃
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- 厂家电话：
智能高温电炉厂家
多年专注于智能高温电炉的研发与制造
小型滑动PECVD管式炉系统OTF-1200℃-50S-PE-SL
小型滑动PECVD管式炉系统OTF-1200℃-50S-PE-SL 的详细介绍
OTF-1200℃-50-PE-SL是一款小型的PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)，滑动式开启式管式炉系统。此套设备带有300W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和机械泵组成。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为不错。
技术参数
| 名称 | 小型滑动PECVD管式炉系统 |
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视频 |
宣传视频 |
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特点 |
与普通CVD相比可以在低温环境下进相沉积实验 可以通过炉体滑动达到快速升温和降温 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制 通过工艺调节来控制化学计量 可以沉积各种材料，如SiOx,SiNx,SiOxNy 和(a-Si:H)等. |
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开启式管式炉
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输入电源:208–240VAC,功率：1.2kW
额定温度1200°C，小于60分钟
炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命（点击文字了解涂层的详细参数）
连续工作温度1100°C
炉管采用高纯石英管：50mmODx44mmIDx1000mmL
可设置30段升降温程序，并且带有过热和断偶保护功能
加热区长度：200mm单温区.
恒温区2.3"(60mm)(+/-1°C)@1000°C 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
以下图片显示加热区的温度曲线图 (点击图片查看详细资料）
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等离子体射频电源 |
输出功率:5-300W可调 稳定性±1% 射频电源频率:13.56MHz稳定性±0.005% 反向功率:200W 匹配:自动 射频电源电子输出端口:50Ω,N型半导体,阴极 噪音:<50 dB. 冷却:风冷 电源:208-240VAC,50/60Hz |
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真空法兰和接头 |
真空法兰采用304不锈钢制作. 左端法兰上安装有KF-25真空接口，2个KF-25快速卸装卡箍，KF-25直角阀，KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀 |
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真空泵及水冷机
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AC220V50Hz1/2HP375W
2Liter/S
出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
真空度:10-2torr
可选水冷机
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电炉尺寸和重量 |
外形尺寸1500mmx600mmx1200mm(LxWxH) 净重:160kg |
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质保期 |
一年质保期，终身维护，（相关耗材除外，如炉管，密封圈等易耗件） |
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CECertified |
| 使用注意事项 | 工作时需连接水冷设备 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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