小型PECVD管式炉系统OTF-1200℃-50S-PE
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：小型PECVD管式炉系统OTF-1200℃-50S-PE
- 电炉类型：实验电炉
- 电炉品牌：西格马
- 电炉规格：
- 电炉温度：℃
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- 厂家电话：
智能高温电炉厂家
多年专注于智能高温电炉的研发与制造
小型PECVD管式炉系统OTF-1200℃-50S-PE
小型PECVD管式炉系统OTF-1200℃-50S-PE 的详细介绍
OTF-1200℃-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD 系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为不错。
特征
与普通CVD相比可以在低温环境下进相沉积实验 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制 通过工艺调节来控制化学计量 能够广泛地用于各种材料沉积，如SiOx,SiNx,SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等.技术参数
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开启式管式炉 |
输入电源：208–240VAC,1.2kW
额定温度1200℃（小于1小时）
连续使用温度1100℃
采用高纯氧化铝作为炉膛材料，并且表面涂有美国高温氧化铝涂层，可延长仪器使用寿命和提高加热效率
高纯石英炉管，尺寸为 50mmODx 44mmIDx 780mmL
可设置30段升降温程序，并带有过热和断偶保护
加热区长度为200mm,恒温区长度为60mm(+/-1°C) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
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等离子体射频电源
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输出功率:5-500W可调 稳定性为+/-1% 射频电源频率13.56MHZ, 稳定性±0.005% 反向功率:200Wmax 射频电源电子输出口:50Ω,N型半岛体, 阴极 噪声<50 dB. 冷却方式：空气冷却 输入电源:208-240VAC,50/60Hz |
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真空法兰和接头 |
真空法兰采用304不锈钢制作
左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。
右端法兰设计为KF25接口，上面配有泄气阀，挡板阀和两个KF25卡箍
仪器中所配的数字真空计，可以不用因使用气体的不同而进行校正，同时还具有防腐功能（请点击图片查看详细介绍）
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真空泵
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AC220V50Hz1/2HP375W
2L/s
与本公司管式炉配套使用，可使其真空度达到10-2torr
进气端带有储气球（防止回油），出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
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电炉尺寸和重量 |
外形尺寸：1500mmx600mmx1200mm(LxWxH) 净重:160lbs |
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可选配置 |
请点击查看下面的混气及气液混合系统 防腐型小型三路浮子混气系统 精密气液混合系统 三路质子混气系统
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| 开门断电 |
为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
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质保期 |
一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） |
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CE Certified |
| 使用注意事项： | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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