名称

1100℃大口径双温区管式炉SLJ1100-100

主要参数

*高温度：1100℃

升温速率：10℃/min

电压：208-230VAC 单相

功率：8KW

炉体结构

.采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃

.高纯氧化铝纤维作为炉膛材料

.采设备中配有2个泡沫陶瓷管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）

.该炉可作为退火或扩散炉，可用于8”晶片放在对应石英舟中

炉管尺寸

₵100×1300mm

真空密封&接口

.采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr

.可选购一套温度测试装置（铠装热偶、补偿导线和温度仪表），用于测试炉管内部的温度

.左侧法兰：真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头

.右侧法兰：kf40真空接口，方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀

温控系统

.PID控制和自整定调节功能

.设备除了安装有一个控温仪表，同时还安装有辅助检测仪表

.智能化30段可编程控制

.控温度：±1℃

加热元件

掺钼铬铝合金

热偶

K型

注意事项

.炉管内气压不可高于0.02MPa

.石英管的长时间使用温度＜1100℃

.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全

.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等

保修期

一年保修，终身技术支持

免责声明

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