名称

1100℃三温区大口径管式炉

电炉型号

SLJ1100-60-III

SLJ1100-80-III

SLJ1100-100-III

炉管规格

₵60×1300mm

₵80×1300mm

₵100×1300mm

主要参数

温度：1200℃

建议升温速率：≤10℃/min

电压：AC220，50Hz

功率:8KW

加热区长度：900mm

炉体结构

.双层壳体结构，可使表面温度低于70℃

.采用高纯氧化铝纤维做为炉膛材料，并且表面涂有氧化铝涂层

.设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端

.该炉可作为退火或扩散炉，可用于8”晶片放在对应石英舟中

密封法兰

.采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr

.可选购一套温度测试装置（铠装热偶、补偿导线和温度仪表），用于测试炉管内部的温度

温控系统

.PID控制和自整定调节功能

.带有断偶和过热保护

.智能化30段可编程控制

.包含一款YD518P型温度控制器

.三个温区分别有三个立的温控系统控制

.控温度：±1℃

可选配系统

.USB接口，无纸记录仪，随机打印系统

.坩埚

.1900型材料

加热元件

掺钼铁铬铝

注意事项

.炉管内气压不可高于0.02MPa

.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热刚玉管的冲击

.石英管的长时间使用温度＜1100℃

.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全

保修期

一年保修，终身技术支持

免责声明

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