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真空快速退火炉\快速升温真空管式炉

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:真空快速退火炉\快速升温真空管式炉
  • 电炉类型:实验电炉
  • 电炉品牌:西格马管式炉
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:
  • 厂家电话:

快速退火炉

快速热处理退火炉简称RTP(RapidThermalProcessingFurnace),由我公司借鉴了国际先进制造工艺,在管式炉的基础上自主研发而成,不但拥有极快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温!

RTP快速退火炉操作便捷,电热元件采用红外灯管,升温速度快,节省时间,滑动法兰使装卸样品过程简化,方便操作,可快速得到实验结果,取消了反复的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成的损坏。

腔体采用了有双层石英管结构,外层管进气,内层管出气,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。

加热灯管之所以能够让硅片快速升温,是因为光源波长在0.3-4微米之间,石英管壁无法有效吸收这一波段的辐射,而晶片则正好相反。因此,晶片可以吸收辐射能量快速加热,而此时石英管壁仍维持低温,即所谓冷壁工艺。

快速热处理退火炉应用领:

Ø快速热退火(RTA);离子注入后退火

Ø石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长

Ø快速热氧化(,RTO);热氮化(RTN);

Ø硅化(Silicidation);

Ø扩散(Diffusion);

Ø离子注入后退火(ImplantAnnealing);

Ø电极合金化(ContactAlloying);

Ø晶向化和坚化(CrystallizationandDensification);

 

快速热处理退火炉主要特点:

Ø极速升温100℃/S,极速降温100℃/S;

Ø双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;

Ø直接测量样品表面温度,测温更精准;

Ø炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用;

Ø真空度可达9.8×10-4Pa;技术参数:

快速退火管式炉主要技术参数:

产品型号

RTP快速热处理退火炉

极限温度

1200℃

额定温度

1100℃

控温精度

±1℃

温场均匀性

±2℃

设计快升温速率

100℃/S

设计快降温速率

100℃/S

操控系统

智能模糊控制

操作界面

7英寸触摸屏

加热方式

短波红外线加热

加热腔体结构

双层管

气体流动方式

外管进气,内管出气

扩充端口

 

可扩充真空测控和FFC供气

过载保护

 

电流过大自动切断主回路

超温保护

 

温度出现过高时切断主回路

传感器类型

 

S型单铂铑

反应腔室尺寸

 

Φ100*200mm

式样有效空间

3.5英寸

传感器类型

9.8×10-4Pa

抽气端口尺寸

KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

供气口尺寸

Φ6.35mm双卡套(或Φ8mm宝塔嘴)

样品冷却方式 风冷

法兰冷却方式

水冷

额定功率 15KW
额定电压

AC380V,50Hz

外形净尺寸

950*500*560

重量

约55KG

 

 

 

 

管式炉价格需要根据详细参数确定,可与管式炉厂家详细沟通

联系真空快速退火炉\快速升温真空管式炉厂家电话,沟通真空快速退火炉\快速升温真空管式炉详细参数和真空快速退火炉\快速升温真空管式炉价格

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