该款质量流量计是按照气体的原子质量计算流量大小,其精度度高。核心流量检测仪采用七星华创的高精度检测仪,额定精度达到0.05SCCM。
技术参数:
产品名称 | 三路质子气体配比器 |
产品型号 | 3Z |
流量计类型 | 质子流量计 |
流量计管芯 | 304不锈钢 |
调节阀类型 | 电磁调节阀 |
管道常态 | 常闭 |
流量计外壳 | 黑色铝壳 |
气体种类 | 3种 |
接口尺寸 | 1/4" |
测量精度 | ±1.0%F.S |
线性度 | ±0.5%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
压力范围 | -0.1-0.15MPa |
A路气体测量范围 | 0~100SCCM |
B路气体测量范围 | 0~200SCCM |
C路气体测量范围 | 0~500SCCM |
流量控制范围 | 2%~100% |
零点温漂 | 0.6F.S(15~35℃) |
响应时间 | 2S |
工作环境温度 | (15~50℃) |
精度保证温度 | (15~35℃) |
供电电源 | 220V50Hz |
外形尺寸 | L700×W600×H580 |
设备重量 | 43kg |
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