分子泵机组

分子泵原理

分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。
分子泵在电机的带动下高速旋转，采用变频电源驱动电机，目的是得到较高的转速。在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵(盖德泵)。牵引分子泵的点是启动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸气，特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故降，而且制造困难，实际上很少应用。

分子泵机组说明

分子泵机组用途

分子泵机组应用领域很广，主要应用在太阳能光伏、LOW-E玻璃、半导体制造、真空检漏、真空镀膜、制灯、光盘、分析仪器、建筑、环保、科技研发等诸多行业配置上。
分子泵机组是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级罗茨泵在排给机械泵抽走的一套真空机组。尤其是分子泵为主泵，作为超高真空领域的真空获取设备，因其启动快、能耗低、运转寿命长、可靠性高、可获得完全无油的清洁真空等特点，近年在真空技术应用领域逐渐普及。
生产的分子泵机组，产品性能稳定可靠，种类齐全，抽速有100L/s、450L/s、620L/s、1200L/s、1500L/s、3500L/s，根据现场工况的需要，可以提供水冷和风冷分子泵满足用户对不同冷却方式的要求，还可以提供耐腐蚀分子泵作为主泵干泵作为前级泵用于抽除有腐蚀性的气体。因此可以满足各行各业不同客户的需求。
分子泵机组与扩散泵机组及其他超高真空泵相比有以下特点：
工作压力范围广，在九个数量级的范围内有稳定抽速;
结构紧凑，由置于泵体内的中频电机直接驱动转子转动;
极限压力低，先进的泵能获得10-8Pa的极限压力;
工作震动小，噪音低，工作平稳，启动时间短，效率高;
体积小，抽速大，获得的高真空系统清洁无油;
耗能少，节省能源，是一种省电配置。

分子泵机组相关技术参数

极限真空:8.0×10-5Pa

分子泵机组外观

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