扩散泵机组

电炉类型：高温电炉
电炉名称：扩散泵机组
电炉类型：实验电炉
电炉品牌：西格马
电炉规格：
电炉温度：℃

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扩散泵机组

扩散泵机组原理

扩散泵机组的主泵是一种高真空泵，其工作介质为扩散泵油，其抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口在由罗茨泵和机械泵带走的过程，是一种抽速可以做得很高真空泵。油扩散泵不能单使用，必须有前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到扩散泵所能接受的压力时才能开始工作，否则，油扩散泵将不能正常工作并造成氧化大量的返油等情况。扩散泵机组可用于真空炉体、真空罐体、气站管道类等器件的真空排气。扩散泵机组的特点是抽气能力大，抽速从190L/S至49000L/S范围内可供选择;并可长时间稳定连续工作。

扩散泵机组的应用

广泛应用于：真空冶炼、真空焊接、分析仪器、功能型镀膜、装饰型镀膜、电子管制造、电真空器件制造、光学、外层空间模拟、粒子加速器、石油化工、实验室研发、半导体制造等领域。

扩散泵机组性能特点

1.具有很大的抽速和抽气能力
2.在高真空阶段具有恒定的额定抽气能力
3.使用寿命长、基本不需要维护

扩散泵机组产品外观参考（产品实景拍摄于2013年）

扩散泵机组技术参数（内部资料仅供参考每个厂家常规型号等有所区别）

极限真空:2.0×10-4Pa
工作真空:6.0×10-4Pa
工作时间:150h
抽气速度:40000L/S
总功率:50KW

型号	抽速（L/s）	极限真空度 (Pa.)	功率 (Kw.)
机组TK-150	1000 L/s	2.5×10-4	3
机组KT-300	4600 L/s	2.0×10-4	6
机组KT-400	8500 L/s	1.6×10-4	8
机组KT-500	12000 L/s	1.6×10-4	15
机组KT-600	17500 L/s	2.5×10-4	25
机组KT-800	30000 L/s	3.5×10-4	40
机组KT-1000	40000 L/s	3.5×10-4	50