金刚石气相沉积炉-洛阳智能高温电阻炉

金刚石气相沉积炉

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产品详情

金刚石气相沉积炉哪家好?洛阳赛特瑞可生产金刚石气相沉积炉。

气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,是处理工件的核心部分。采用化学气相沉积(CVD)方法制备泡沫金刚石

金刚石气相沉积炉简介:

金刚石气相沉积炉可用于沉积高质量的大面积金刚石膜,沉积的金刚石厚膜直径达Φ280mm,涂层面积达(330×300)mm2,膜沉积速率为(4-20)μm/h

1、生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等.

2、在切削刀具、钻头、丝锥等表面沉积金刚石薄膜。

金刚石气相沉积炉特点:

1、采用高压拉瓦尔喷头,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

2、采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

3、设备自动化高,关键执行电气件采用;操作直观、简便,触摸屏经过开发,可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能,程序段可直接输入。

4、配带偏压电源,有效提高沉积速度;

金刚石气相沉积炉技术参数:

参数型号 样品台
尺寸
热丝温度 衬底
温度
样品台升降位移 样品台转速 极限
压力
压升率 偏压电源 气体控制方式
单位 mm mm r/min Pa Pa/h V  
STR CVD
-250
Φ280 2400 700
-900
200 0-10
(可调)
7×10-1 0.67 300 自动控制流量
 

 


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