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　　主要特点

　　这是一款针对太阳能硒化设计的专用炉，炉体上端腔体可以实现离子增强硒化功能，利用上下腔体内的压差实现硒化气体均匀扩散乘积在基体表面。上腔体温度调节范围50-600度，等离子强度0-500W可调，下腔体0-800度可调。可以定制下腔体连续工作。

　　技术参数

功率	上炉体：1.5kw
	下炉体：5kw
射频功率	0-500W可调
炉膛尺寸	上腔体：100*100*100mm
	下腔体：240*300*100mm
炉膛温度	上腔体：50-600度可调
	下腔体：50-800度可调
重量	220Kg
外型尺寸	1200*900*1600mm

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