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2020-06-08

　　真空炉真空系统如何操作呢？大家在操作该设备之前可以先看下如下分享，相信对大家操作真空炉真空系统是有帮助的。
　　1、罗茨泵启动
　　打开前级阀，关闭主阀和预抽阀，用按钮启动机械泵，当低真空规管测量的真空度高于罗茨泵入口真空度时，比如小于2kPa，启动罗茨泵。
　　2、预热扩散泵
　　主阀和预抽阀仍处于关闭状态，前级泵机组对扩散泵抽真空，当低真空规管测量扩散泵前级真空度高于规定值时，比如小于7Pa,启动扩散泵加热器。
　　3、预抽炉内真空
　　先关前级阀，并停止罗茨泵，稍后打开预抽阀对炉内抽真空。炉内真空度抽到高于罗茨泵入口真空度时，再启动罗茨泵。前级泵机组对炉内抽气，使之达到预抽真空度。
　　4、抽高真空
　　炉内真空度达到或高于规定值，且扩散泵加热时间到，先关预抽阀，然后开高真空阀，对炉内抽高真空，直到高真空规管测得的炉内真空度达到或高于工作真空度，才进行下一步操作。真空系统的关闭步骤相对比较简单，当炉子温度减低到可关真空系统的要求时，关闭主阀，接着关闭扩散泵加热器，但前级阀不能关闭，前级泵机组仍然工作，直到扩散泵加热器冷却时间到，才依次关闭前级阀和前级泵机组。
　　以上即是真空炉真空系统的操作方法，大家选购好设备之后可以先了解一下操作方法，方便后期更快的投入使用。

真空炉结构

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真空炉真空系统如何操作
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