1100度大管径真空气氛管式炉

管径低真空热处理炉基本介绍

大管径真空气氛管式炉是一种专为处理大尺寸样品或在批量实验中要求更高通量而设计的实验设备，兼具真空和气氛保护功能，广泛应用于材料科学、粉末冶金、半导体、新能源等领域。

大管径真空气氛管式炉在结构强度、温场均匀性、真空性能和操作便捷性方面均有良好表现，特别适合中试实验、材料放大研究及多样品并行处理。

常见规格为 Φ150 mm、Φ200 mm、Φ250 mm，温区长度有400mm、600mm、800mm、1000mm

主要应用领域

材料研究:高温烧结、退火、CVD、PECVD、石墨烯生长等;

粉末冶金:金属或陶瓷粉末的真空烧结;

新能源:钠/锂离子电池正极材料的中试规模合成;

半导体与电子:薄膜沉积、器件封装、氧化物/氮化物处理;

教学与科研:适用于高校、研究所进行多样品批量实验

结构特点：

1.1 双层外壳:碳钢或不锈钢+表面喷塑,防锈且温升<60 ℃。

1.2 全纤维三件套:1800型多晶氧化铝纤维 → 1430型纤维 → 保温棉,层层锁热,升温快、能耗低。

2 炉管密封

2.1 大管径:Φ150–300 mm,石英/刚玉/不锈钢任选,长工件、多试样一次装。

2.2 双环法兰:不锈钢法兰+硅胶O-ring双重密封,KF25快接可选,10?3 Pa级不漏气。

2.3 气路托架:法兰重量落在支架,炉管零应力,不断裂。

3 加热测温

3.1 环绕加热:Kanthal A1电阻丝(1200 ℃)或SiC/MoSi?棒(1400–1700 ℃),温场均匀。

3.2 精准控温:B/N型热电偶直测+PID 30段程序,±1 ℃精度,USB/RS485远控。

4 真空安全

4.1 真空/气氛:旋片泵10?2 Pa,分子泵10?? Pa;质量流量计精确给气,可通H?、Ar、N?。

4.2 多重保护:超温、断偶、漏电、炉盖开启即断电;风扇自动排温,炉体可开启,换管维护5分钟搞定。

STR TF250-10大管径低真空热处理炉技术参数