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电炉概述：

STR-RTP1100-100IC红外加热滑轨式管式炉是有洛阳赛特瑞高温电炉生产的一款精巧型快速热处理管式炉，又称红外加热退火管式炉。

RTP快速退火管式炉采用红外线加热管加热，升温速度可达400℃/分钟， 30段温度控制，精度为±1°C。。该炉可采用圆形或对开式设计，造型新颖结构合理。炉体和炉管可以自由滑动，可实现快速升温、降温。配有石英管和真空法兰， 它是专为半导体或太阳能电池基片（额定达3“）的退火而设计。

管式炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率设计大可达100°C/m。为取得较快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得较快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的不错炉子。 可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高，处于国内*水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。

RTP红外灯管加热管式炉适用范围：

 

可在真空不同气氛空气不同环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

红外加热退火管式炉主要特点

1、内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率，同时可延长其使用寿命。

2、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载容易。

3、炉体结构：有导轨可以实现炉体滑动

3、内插式热偶保证了温度的准确性。

4、采用PID自动温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。

红外加热退火管式炉技术参数

1、电源：220V或者380V，50Hz/60Hz单相，

4、加热元件：红外灯管，

7、温度：1100℃

3、石英管：6080100120

5、恒温区：300mm

6、热偶：K型热偶

8、控温精度：±1℃

9、升温速度：50℃/s，

10、真空度：机械泵或者分子泵

11、真空法兰：高真空不锈钢法兰，配有两个高温O型圈密封

12、流量计：0-0.3L/min

标准配件：

注：坩埚可按用户需求选配合适的款型

可选配件：

主要技术参数：