1700℃真空石墨炉:石墨加热炉

1700℃真空石墨炉

真空石墨炉主要技术参数

1、电炉名称：1700℃真空石墨炉、石墨加热炉

2、设计最高温度：1700℃

3、工作温度≤1650℃

4、有效工作区mm：400*300*300（深*宽*高），炉膛尺寸：φ500*500

5、加热区数：1区

6、温度控制方式：昆仑通态液晶触摸屏+PLC控制

7、温度控制范围：室温——1650℃采用钨铼热电偶

8、温度控制精度：≤±1℃

9、升温速率：1-10℃/min

10、极限真空度：≤50Pa(冷态空载)

11、真空系统配置：罗茨泵+机械泵              

12、充气方式: 自动充气,真空抽至50pa后真空泵停止工作，进气阀自动打开充气至6000pa后保压烧结，气体介质: 氮气，氩气(正压≤0.03Mpa下使用)

13、电炉结构：卧式

14、开门结构：侧开门

结构介绍

1、炉体由炉门、炉身、隔热屏和加热器、承料台等组成。

2、炉门是由双层封头及法兰盘组焊而成，采用双层夹壁结构，内、外封头内有循环冷却水进行冷却。炉门内封头采用不锈钢板制作。

3、炉身内外壳由不锈钢板制成，双层水冷夹壁结构；炉身上设有电极引出装置、热电偶测温装置及充气孔和排气孔；炉门和炉体通过门铰链连接，炉门开启方式为侧开门；在炉门上设有观察孔及炉门压紧装置。

4、隔热屏采用石墨及碳毡材料制作，结构型式为圆形隔热屏，由里到外，第一层为石墨硬毡材料,第二层起采用石墨毡为保温材料。

5、 加热器也采用圆型结构型式，安装在圆形隔热屏的圆周上，使其形成一个回路；加热器采用石墨板为发热体，易于拆卸和维修。加热器的绝缘材料均采用高纯氮化硼；承料架采用石墨材料加工而成。

6、真空充气系统：真空系统由罗茨泵、机械泵，高真空气动挡板阀、真空管道、真空规管、压力表及复合真空计等组成。充气装置（不含气体干燥、气体过滤、气体检漏装置及尾气处理系统）主要由充气阀、浮球流量计(或选配质量流量计)、充气管道、排气阀等组成，用于工艺所需充氩气、氮气的气氛要求，最大充气压力≤0.03MPa（微正压、表压)。

7、水冷系统：由总进水管、总出水管、多路分进水管、多路分出水管、阀门及压力表等组成。冷却水由总进水管经过各分进水管进入到炉壳、炉门、电极、扩散泵等需要冷却的地方，再经各分路出水管汇集至总出水管排出。总进水管上设有电接点压力表，当总进水压力低于设定值时，控制系统会有声光报警并能自动切断加热器电源。每路分进水管上都装有阀门，可以对单路的冷却水的流量进行调节(水源需方自备或选配冷水机)。