1200℃双管滑轨管式炉为实验室用RTP快速升温炉,具有内外管组成的2层炉管的管式炉。 双管滑轨管式炉炉体安装双向导柱滑轨,左右拉动炉体能保证让样品达到快速的升降温。双层石英管可用于生长大尺寸薄膜石墨烯研制的,也应用于有快速升温需要的CVD实验。
| 电炉名称 |
1200℃双管滑轨管式炉:RTP快速升温炉 |
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额定功率 |
7KW |
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额定电压 |
AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz |
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设计温度 |
1200℃(1hr) |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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升温速率 |
≤10℃/min |
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炉管尺寸 |
高纯石英管*2支(内管+外管) 异形内管尺寸:Φ100×1000mm 外管尺寸:Φ130×1800mm |
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加热区长度 |
300+300+300mm |
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恒温区长度 |
150+200+150mm |
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可移动范围 |
1760mm |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 |
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控温精度 |
±1℃ |
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加热元件 |
电阻丝(进口康泰尔电阻丝) |
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质量流量计量程 |
50sccm,100sccm,100sccm,200sccm.(量程可根据客户要求配置) |
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标准配置 |
石英管2根(内管和外管各1根),不锈钢密封法兰1套,硅胶密封圈2套, 管堵2只,高温手套1副,坩埚钩1支 |
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可选附件 |
石英托架,石英舟,石英钩,电阻真空计,手动挡板阀,波纹管,卡箍,真空泵,供气系统 |
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尺寸参考 |
1100×450×600mm(电炉) 2000×500×760mm(电炉+滑轨) |
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包装尺寸 |
2100×600×1200(木箱包装) |
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本双管滑轨管式炉可生产单温区滑轨管式炉、大口径双管滑轨管式炉、双温区双管滑轨管式炉。
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