小型四路质子混气供气系统

小型四路质子混气供气系统为实验室用多路混气系统。四路质子混气供气系统可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量通过精密的质量流量计进行控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内。移动柜顶部可放置管式炉。该设备系列可用于构建化学气相沉积（CVD）系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。

小型四路质子混气供气系统可用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。