小型气氛井式炉炉体采用密封外壳,硅胶密封盖,带硅胶垫圈和水冷系统的密封门,配有进出口、气体浮过流量计。
小型气氛井式炉主要用于煅烧真空或惰性气体保护下的高纯度化合物或扩散半导体晶片,也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。
规格型号参数:
| 电炉型号 | STR-VCF-1200T | STR-VCF-1400T | STR-VCF-1600T |
|---|---|---|---|
| 炉膛尺寸 | O.D.205 x I.D.190 x H340 | O.D.160 x I.D.140 x H200 | O.D.150 x I.D.130 x H200 |
| 设计温度 | 1200 ℃ | 1400 ℃ | 1600 ℃ |
| 工作温度 | 1100 ℃ | 1300 ℃ | 1500 ℃ |
| 加热元件 | 含钼电阻丝 | 硅碳棒 | 硅钼棒 |
| 控温方式 | 30段可编程自动控制 |
50段可编程自动控制 |
50段可编程自动控制 |
| 升温速率 | 0~20 ℃/分 | - | - |
| 温控精度 | ± 1℃ | - | - |
| 最大真空度 | -0.1MPa | - | - |
| 炉膛材料 | 氧化铝陶瓷纤维板 | - | - |
| 炉壳 | 双层风冷结构 | - | - |
| 额定电压 | 220V/380V 50/60Hz |
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