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STR-TF60-12小型管式CVD为低真空CVD石墨烯生长系统、实验用小型CVD系统，该STR-TF60-12小型管式CVD是由STR-TF60-12高温管式炉、3路质量流量控制系和真空系统所组成。有小型双温区管式炉CVD系统、滑膛式管式炉CVD系统

STR-TF60-12小型管式CVD可应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。主要用于SiO2, Si3N4 沉积。

CVD(Chemical Vapor Deposition, 化学气相沉积)，指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。

1.STR-TF60-12高温管式炉

电炉名称	1200度高温管式炉
电炉型号	STR-TF60-12
设计温度	1200℃
使用温度	≤1100℃
石英管尺寸	Φ60，可选φ60、Φ80、φ100*1000mm
炉膛材料	氧化铝、高温纤维制品
控温方式	30段可编程控温，PID参数自整定。
加热元件	高温电阻丝
加热长度	440mm
恒温区长度	200mm
测温元件	K型热电偶
控温精度	±1℃
供电电源	单相，220V，50Hz

2、三路质子流量控制系统

连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N2)	200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%F.S
线性	±1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
设计压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6

3、低真空机组

空气相对湿度	≤85%
工作环境	5℃～40℃
工作电电压	220V±10%  50~60HZ
功率	1KW
抽气速率	10m³/h
极限真空	5X10-1Pa
工作压力范围	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐压值	0.03MPa
容油量	1.1L
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25
噪音	50dB
连接方式	采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

小型CVD 生产厂家哪家好？低真空CVD石墨烯生长系统：STR-TF60-12小型管式CVD-洛阳智能高温电阻炉为专业的小型CVD生产厂家，具有多年的研发与生产经验、质量稳定可靠 TAG:小型CVD