产品详情

STR-TF60-12-3Z实验室用小型管式PECVD系统是由1200度小型触屏管式炉、三路质子混气气路系统、真空系统、300w等离子电源系统组成。可加配400℃预加热系统。

小型管式PECVD系统有普通款小型PECVD管式炉、小型滑动开启式PECVD系统、小型滑轨式PECVD系统。混气系统气体路数可按需选择：2路、3路、5路。

该实验室用小型管式PECVD系统可用于石墨烯制备。

主要特点：

1、通过SE频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

3、可以通过SE频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高.

技术参数：

设备名称		实验室用小型管式PECVD系统
设备型号		STR-TF60-12-3Z
高温管式炉	设计温度	1200℃
	持续工作温度	≤1100℃
	加热速率	20℃/min （建议10℃/min）
	加热区长度	300mm 单温区
	加热元件	含钼电阻丝
	测温元件	K 型热电偶
	控温精度	±1℃
	炉管尺寸	炉管直径Φ40，Φ60，Φ80
	炉管材质	高纯石英
	温度控制器	PLC触屏控制
	真空法兰	真空法兰采用304不锈钢制作 · 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。 · 右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍 注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰
	输入电源	单相 220V, 50 Hz  功率：3KW
真空泵系统	分子真空泵	采用分子真空泵，真空度达6.67 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换
等离子电源系统	工作频率	13.56MHZ+0.005%
	工作模式	连续输出
	供电电源/频率	单相交流 (187V-253V)50-60HZ
	射频输出接口	UHF male
	嘴大反射功率	＜2W
	谐波分量	≤-50 (dBc)
	电源保护设置	DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护
	冷却方式	强制风冷
	等离子电源功率可选	200w/300w/500w-1000w
触屏质量流量计	三通道精密质量流量计：液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体控制均可在不同气体中任意切换，无须人工换算； 1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可调 2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制3种气体； 3.进出气口：3进1出 4.连接方式：双卡套连接
注意事项	. 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。 若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

小型PECVD系统 生产厂家哪家好？实验室用小型管式PECVD系统-洛阳智能高温电阻炉为专业的小型PECVD系统生产厂家，具有多年的研发与生产经验、质量稳定可靠 TAG:小型PECVD系统