硅碳棒加热流化床CVD
硅碳棒加热流化床CVD由真空立式管式炉、供气系统、真空系统、真空测量系统、组成。
该硅碳棒加热流化床CVD采用硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，真空泵接口，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等特点。
炉管为高纯石英异形，炉管内嵌有石英网。石英管网孔大小可定制：10-200um
应用范围：
硅碳棒加热流化床CVD可用于半导体工业中沉积薄膜材料，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。技术参数：
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产品名称 |
硅碳棒加热流化床CVD系统 |
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产品型号 |
STR-FTF100-12CVD |
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立式管式炉 |
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炉膛模式 |
立式开启式 |
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炉膛材料 |
氧化铝耐火纤维 |
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加热元件 |
优质硅碳棒 |
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极限温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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升温速率 |
≤20℃(建议:15℃/min) |
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加热温区 |
单温区、多温区 |
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温区总长度 |
200、300、440 |
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炉管材质 |
高纯石英管 |
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炉管直径 |
40、50、60、80、100mm...... |
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石英网板 |
石英管网孔大小可定制：10-200um |
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密封方式 |
304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) |
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控制模式 |
多段智能PID程序控温 预留通讯接口 |
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控温精度 |
±1℃ |
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温度曲线 |
多段"时间—温度曲线"任意可设 |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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气路系统 |
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工作电压 |
220V/50HZ |
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输出功率 |
18W |
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工作温度 |
5--45℃ |
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气体通道 |
可同时连接多种气源 |
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流 量 计 |
质量流量计 |
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A路量程 |
0～500SCCM |
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B路量程 |
0～500SCCM |
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C路量程 |
0～500SCCM |
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..... |
..... |
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气路压力 |
-0.1～0.15 MPa |
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截止阀 |
不锈钢材质 |
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气体连接管 |
1/4不锈钢管 |
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数显真空计及连接件 |
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数显真空计 |
数显真空计安装在不锈钢法兰上 |
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真空泵组(相关连接配件) |
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真空泵 |
真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ |
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售后服务 |
质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围） |
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