真空化学气相沉积炉Vacuum chemical vapor deposition furnace
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真空化学气相沉积炉Vacuum chemical vapor deposition furnace
化学气相沉积炉由沉积室、供气系统和排气系统组成，是以电阻加热或者感应加热的方式，在真空环境下，通入沉积气体，并在高温下产生裂解后沉积到工件上，使复合材料得到致密化处理的生产设备。
应用领域：碳碳制品、热解石墨、耐热物质涂层、粉末合成
功能特点：操作简单、维护方便、可制备多种类型涂层及复合材料、产品致密均匀，纯度和晶粒度高.
性能参数：
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电炉型号 |
STR BCVD-0510 | STR BCVD-0812 | STR BCVD-1015 | STR BCVD-1215 | STR BCVD-1218 |
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均温区 (mm) |
500x1,000 | 800x1,200 | 1.000x1,500 | 1.200x1,500 | 1,200x1.800 |
| 均温性 | +3℃ | +3℃ | +3℃ | +3℃ | +3℃ |
| 加热功率 | 180Kw | 240Kw | 300Kw | 350Kw | 400Kw |
| 极限真空 | 20Pa | 20Pa | 20Pa | 20Pa | 20Pa |
| 压升率 | 1Pa/h | 1Pa/h | 1Pa/h | 1Pa/h | 1Pa/h |
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