气相沉积炉（CVI/CVD沉积炉）
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气相沉积炉（CVI/CVD沉积炉）
气相沉积炉是在真空氛围中，以C/C复合材料气相致密化处理为目的，通过电阻加热器达到所需温度，使沉积气体裂解，从而沉积到材料表面上形成致密、性能高的复合材料的真空设备。
性能特点：
1、通过PID调节方式实现炉内温度的*控制；
2、立的分区加热控制，既能保证绝缘不易破坏，又方便加热器的维修更换；
3、采用德国的真空测量设备，可准确有效的避免炉内气氛对测量精度的影响；
4、水、气、电综合故障声光报警装置，保证系统运行平稳、安全；
主要技术参数：
| 设备名称 | 气相沉积炉CVI | 气相沉积炉CVD |
|
参数 |
CVI |
CVD |
|
设计温度 |
1200℃ |
1500℃ |
|
常用工作温度 |
1050℃ |
1200℃ |
|
满功率升温时间 |
～1000℃≤ 3h |
RT～1000℃≤5h |
|
温度均匀性 （1000℃时） |
≤±10℃ |
≤±10℃ |
|
冷态空炉极限真空度 |
≤10Pa |
≤10Pa |
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压升率 |
≤5Pa/h |
≤5Pa/h |
|
控温精度 |
≤±1℃ |
≤±1℃ |
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动力电源 |
3Φ380 V 50 Hz 850 KVA |
3Φ380V 50Hz 1000KVA |
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工作电源 |
Umax=40 V Imax=25000 A |
Umax=7～70v |
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