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三路质子实验室混气系统

三路质子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境.该气体流量控制器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.三路质子气体配比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

 

应用范围：1.半导体制造行业中气体流量控制2.各种真空镀膜设备3.材料表面处理4.气体燃烧控制5.混和配气系统6.环境检测与分析设备7.分析仪器的气体流量计量与控制8.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

技术参数

电炉名称	三路质子气体流量控制器
流量计类型	质子流量计
流量计管芯	304不锈钢
调节阀类型	电磁调节阀
管道常态	常闭
流量计外壳	黑色铝壳
气体种类	3种
接口尺寸	1/4"
测量精度	±1.0%F.S
线性度	±0.5%F.S
重复精度	±0.2%F.S
压力范围	-0.1-0.15MPa
A路气体测量范围	0～100SCCM
B路气体测量范围	0～200SCCM
C路气体测量范围	0～500SCCM
流量控制范围	2%～100%
零点温漂	0.6F.S(15～35℃)
响应时间	2S
工作环境温度	(15～50℃)
精度保证温度	(15～35℃)
供电电源	220V50Hz
设备重量	43kg

 

 

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