双炉体滑动PECVD系统&循环手套箱-OTF-1200℃-PESDFG-50
双炉体滑动PECVD系统&循环手套箱-OTF-1200℃-PESDFG-50 的详细介绍
OTF-1200℃-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统,并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接,允许客户用CVD方法把样品制作好以后,直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式,可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
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