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离子泵机组

离子泵机组说明

可根据用户的有效容积，额定温度、极限真空度、排气头的要求进行专门的设计制造。
离子泵机组主要结构与工作方式:
手工装料，立式，单头、多头。主机与控柜分开设置

离子泵机组用途

用于电真空器件，如磁控管、行波管、回旋管、速调管等器件的真空排气。

离子泵机组主要技术参数

极限真空:1.3×10-7Pa
烘箱真空:9×10-1Pa
烘箱工作空间:Φ300×1000
额定温度:600℃
工作温度:550℃
温度均匀性:±15℃
抽气速度:400L/S
总功率:15KW
加热功率:12KW
加热方式:内热式

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