真空退火炉,出现铜带氧化,说明真空炉漏气。1,检查真空泵工作真空是否正常,用真空计,检查真空泵入口的真空看看能否达到该泵的极限真空。如果达不到,换油,或维修,再不行换泵。
2,用捡漏仪,对真空炉捡漏。如果没有检漏仪(检漏仪很贵的),用丙酮(工业酒精)捡漏。一般测漏率0.2Pa/h,就应该没问题。
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