主要特点
这是一款针对太阳能硒化设计的专用炉,炉体上端腔体可以实现离子增强硒化功能,利用上下腔体内的压差实现硒化气体均匀扩散乘积在基体表面。上腔体温度调节范围50-600度,等离子强度0-500W可调,下腔体0-800度可调。可以定制下腔体连续工作。
技术参数
| 功率 | 上炉体:1.5kw | 
| 下炉体:5kw | |
| 射频功率 | 0-500W可调 | 
| 炉膛尺寸 | 上腔体:100*100*100mm | 
| 下腔体:240*300*100mm | |
| 炉膛温度 | 上腔体:50-600度可调 | 
| 下腔体:50-800度可调 | |
| 重量 | 220Kg | 
| 外型尺寸 | 1200*900*1600mm | 
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