生产箱式气氛炉,智能高温电炉,热震实验炉,气氛管式炉,真空气氛炉,真空气氛升降炉,箱式预碳化厂家-洛阳智能高温电阻炉

实验炉Product

工业炉Product

实验室PECVD厂家 洛阳赛特瑞 电话: 传真: 邮箱: 地址:洛阳高新区火炬创新创业园
实验室PECVD
您的位置:首页- 回转炉-实验室PECVD

STR PECVD60-1200R 小型转动式管式PECVD系统设备

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:STR PECVD60-1200R 小型转动式管式PECVD系统设备
  • 电炉类型:回转炉
  • 电炉品牌:洛阳赛特瑞实验室PECVD
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:
  • 厂家电话:

小型转动式管式PECVD系统设备

小型转动式管式PECVD系统是一种将等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术与旋转管式炉结构相结合的实验设备,主要用于粉末、颗粒或小尺寸基片的表面薄膜沉积与改性处理。

STR PECVD60-1200R转动式PECVD系统为洛阳赛特瑞高温电炉生产的PECVD系统。转动式PECVD系统炉管可实现360度旋转和0-30度倾斜,管内壁有石英挡片帮助材料翻转有助于烧结或镀膜更加均匀。炉膛采用氧化铝纤维材料。

转动式PECVD系统管式炉采用的管式电阻炉采用双层壳体结构,标配30段程序控温系统,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点,是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的高温烧结设备。

STR PECVD60-1200R转动式PECVD系统

设备结构简述

炉体与旋转系统

采用可旋转的石英管电炉,炉管为变径结构(中间粗、两端细),内部可设拨料板。粉末物料烧结更加均匀混合与翻转,提升薄膜均匀性和沉积效率。

等离子体系统

配备射频电源(RF)(常见功率为300W~500W),通过电感耦合或电容耦合方式在炉管内激发等离子体,使反应气体在低温下分解并沉积在样品表面。

真空与供气系统

包括机械泵+分子泵组合、多通道质量流量控制器(MFC),可实现高真空(<10Pa)与精确气氛控制,支持多种工艺气体(如CH₄、H₂、N₂、O₂等)。

温控与冷却系统

多区独立控温,最高工作温度可达1200℃,控温精度±1℃,部分系统配有水冷机以实现快速降温

结构配置特点:

1、炉膛材料:采用氧化铝多晶纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

2、加热元件:采用良的加热元件,温场均衡、使用寿命长。

3、开门保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者。

4、漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

5、软件控制系统(选购):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。

6、控制系统:

1)电器:正泰,

2)可控硅:德国西门康106-16E,3触发器:移相触发。

7、控温仪表:采用宇电程序控温仪表。(可选配日本岛电,英国欧陆等品牌)

1)30段程序控温智能PID调节。(可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表)

2)具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3)带有485通讯接口(选购软件时标配)

4)具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5)仪表具有温度自整定的功能。

8、可增加进气、排气阀门

9、电器部分可选配ABB产品

10、选配件:

1)50段程序控温,

2)液晶触摸屏控制器或温度控制器3、炉膛尺寸可定做


主要技术参数:

1、电炉名称:转动式PECVD系统


2、电炉型号:STR PECVD60-1200R

3、炉管尺寸:Dia60(OD)X1400mm

4、加热元件:国产高温合金丝(或瑞典Kanthal-A1电阻丝)

5、额定温度:1100℃

6、设计温度:1200℃

7、测温元件:K型热电偶

8、加热温区:约长440mm

9、电炉功率:5KW

10、转动电机功率:40W

11、炉子倾斜角度:-10~30度

12、转动密封方式:采用转动磁流体密封

13、射频电源:功率输出范围0-500W

14、更大反射功率:10W

15、射频电信号频率:56MHZ±0、005%

典型应用领域

粉末表面改性

用于锂离子电池材料(如LiFePO?)表面碳包覆,提高导电性与循环稳定性。

薄膜沉积

可在颗粒或小型基片上沉积SiO?、Si?N?、DLC(类金刚石碳)、碳纳米管、石墨烯等功能薄膜,适用于光电器件、传感器、催化材料等研究。

低温沉积优势

由于等离子体激发反应,沉积温度显著低于传统CVD,适合热敏材料或低温工艺需求的场景。

小型转动式管式PECVD系统结合了旋转炉体的均匀处理能力与PECVD低温沉积优势,特别适合粉末表面包覆、颗粒薄膜沉积等科研与小试场景,是新能源材料、功能薄膜、纳米材料研究的重要工具。


洛阳赛特瑞高温电炉可生产PECVD系统设备,转动式PECVD,滑动式PECVD,多温区管式。可根据客户需求定做各种非标高温电炉。

PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 是指 等离子体增强化学的气相沉积法。

实验室PECVD价格需要根据详细参数确定,可与实验室PECVD厂家详细沟通

免责声明:本站部分图片和文字来源于网络收集整理,仅供学习交流,版权归原作者所有,并不代表我站观点。本站将不承担任何法律责任,如果有侵犯到您的权利,请及时联系我们删除。

上一篇:第一篇
下一篇:最后一篇

联系STR PECVD60-1200R 小型转动式管式PECVD系统设备厂家电话,沟通STR PECVD60-1200R 小型转动式管式PECVD系统设备详细参数和STR PECVD60-1200R 小型转动式管式PECVD系统设备价格

版权所有 洛阳智能高温电阻炉  备案号: 豫备 保留所有权利.

返回顶部

在线客服
联系电话: