STR PECVD60-1200R 小型转动式管式PECVD系统设备
- 电炉类型:高温电炉
- 电炉名称:STR PECVD60-1200R 小型转动式管式PECVD系统设备
- 电炉类型:回转炉
- 电炉品牌:洛阳赛特瑞实验室PECVD
- 电炉规格:
- 电炉温度:℃
- 厂家电话:
小型转动式管式PECVD系统设备
小型转动式管式PECVD系统是一种将等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术与旋转管式炉结构相结合的实验设备,主要用于粉末、颗粒或小尺寸基片的表面薄膜沉积与改性处理。
STR PECVD60-1200R转动式PECVD系统为洛阳赛特瑞高温电炉生产的PECVD系统。转动式PECVD系统炉管可实现360度旋转和0-30度倾斜,管内壁有石英挡片帮助材料翻转有助于烧结或镀膜更加均匀。炉膛采用氧化铝纤维材料。
转动式PECVD系统管式炉采用的管式电阻炉采用双层壳体结构,标配30段程序控温系统,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点,是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的高温烧结设备。
STR PECVD60-1200R转动式PECVD系统
炉体与旋转系统
采用可旋转的石英管电炉,炉管为变径结构(中间粗、两端细),内部可设拨料板。粉末物料烧结更加均匀混合与翻转,提升薄膜均匀性和沉积效率。
等离子体系统
配备射频电源(RF)(常见功率为300W~500W),通过电感耦合或电容耦合方式在炉管内激发等离子体,使反应气体在低温下分解并沉积在样品表面。
真空与供气系统
包括机械泵+分子泵组合、多通道质量流量控制器(MFC),可实现高真空(<10Pa)与精确气氛控制,支持多种工艺气体(如CH₄、H₂、N₂、O₂等)。
温控与冷却系统
多区独立控温,最高工作温度可达1200℃,控温精度±1℃,部分系统配有水冷机以实现快速降温
1、炉膛材料:采用氧化铝多晶纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。
2、加热元件:采用良的加热元件,温场均衡、使用寿命长。
3、开门保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者。
4、漏电保护功能:该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。
5、软件控制系统(选购):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
6、控制系统:
1)电器:正泰,
2)可控硅:德国西门康106-16E,3触发器:移相触发。
7、控温仪表:采用宇电程序控温仪表。(可选配日本岛电,英国欧陆等品牌)
1)30段程序控温智能PID调节。(可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表)
2)具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。
3)带有485通讯接口(选购软件时标配)
4)具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
5)仪表具有温度自整定的功能。
8、可增加进气、排气阀门
9、电器部分可选配ABB产品
10、选配件:
1)50段程序控温,
2)液晶触摸屏控制器或温度控制器3、炉膛尺寸可定做
1、电炉名称:转动式PECVD系统
2、电炉型号:STR PECVD60-1200R
3、炉管尺寸:Dia60(OD)X1400mm
4、加热元件:国产高温合金丝(或瑞典Kanthal-A1电阻丝)
5、额定温度:1100℃
6、设计温度:1200℃
7、测温元件:K型热电偶
8、加热温区:约长440mm
9、电炉功率:5KW
10、转动电机功率:40W
11、炉子倾斜角度:-10~30度
12、转动密封方式:采用转动磁流体密封
13、射频电源:功率输出范围0-500W
14、更大反射功率:10W
15、射频电信号频率:56MHZ±0、005%
粉末表面改性
用于锂离子电池材料(如LiFePO?)表面碳包覆,提高导电性与循环稳定性。
薄膜沉积
可在颗粒或小型基片上沉积SiO?、Si?N?、DLC(类金刚石碳)、碳纳米管、石墨烯等功能薄膜,适用于光电器件、传感器、催化材料等研究。
低温沉积优势
由于等离子体激发反应,沉积温度显著低于传统CVD,适合热敏材料或低温工艺需求的场景。
小型转动式管式PECVD系统结合了旋转炉体的均匀处理能力与PECVD低温沉积优势,特别适合粉末表面包覆、颗粒薄膜沉积等科研与小试场景,是新能源材料、功能薄膜、纳米材料研究的重要工具。
洛阳赛特瑞高温电炉可生产PECVD系统设备,转动式PECVD,滑动式PECVD,多温区管式。可根据客户需求定做各种非标高温电炉。
PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 是指 等离子体增强化学的气相沉积法。
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