RTP多功能快速退火炉\快速升温管式炉
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：RTP多功能快速退火炉\快速升温管式炉
- 电炉类型：实验电炉
- 电炉品牌：洛阳赛特瑞快速升温管式炉
- 电炉规格：
- 电炉温度：℃
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- 厂家电话：
智能高温电炉厂家
多年专注于智能高温电炉研发与制造
高温电炉厂家电话
Sigma 1200℃ RapidThermalProcessingFurnace
快速热处理退火炉简称RTP（RapidThermalProcessingFurnace），快速热处理退火炉在管式炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S，而且降温速率也有了质的飞跃，降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙的设计工艺使得冷却气体直接对着样品直吹，以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温！
此款设备采用了赛特瑞STR自主研发的智能AIO（AllInOne）控制系统，实现了炉膛自动左右移动，炉膛在左侧加热到设定温度后，直接移动到右侧样品区域，实现样品快速升温，样品加热到设定温度和时间后，炉膛自动移开样品加热区，实现样品的快速降温。赛特瑞STRAIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制，而且还能自动平衡炉管内的压力大小，真正实现了操作方便，而且安全可靠。
功能举例：
样品加热到1000℃后，炉膛自动移开加热区，冷却气体自动打开直吹样品表面实现极速降温，样品温度降到70℃时自动关闭冷却气体。然后炉膛移动到加热区继续加热，如此往复，往复次数可用户自定义。真空系统可根据用户设定温度自动开启和关闭。
快速热退火(RTA);离子注入后退火
石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长
快速热氧化(,RTO);热氮化(RTN);
硅化(Silicidation);
扩散(Diffusion);
离子注入后退火(ImplantAnnealing);
电极合金化(ContactAlloying);
晶向化和坚化(CrystallizationandDensification);
极速升温100℃/S，极速降温100℃/S；
双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀；
直接测量样品表面温度，测温更精准；
炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应用；
样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格；
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电炉名称 |
RTP多功能快速退火炉快速升温管式炉 |
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产品型号 |
STR RTP1100-M |
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额定温度 |
1100℃ |
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温场均匀性 |
±2℃ |
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炉膛升温速率 |
≥100℃/S |
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设计快降温速率 |
≥100℃/S |
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控温方式 |
炉膛与样品要分别控温，两个测温点 |
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炉膛移动方式 |
根据用户样品设定温度自动左右移动，往复次数可调节 |
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操控系统 |
智能AIO操作系统 |
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操作界面 |
7英寸触摸屏 |
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加热方式 |
短波红外线加热 |
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加热腔体结构 |
双层石英管 |
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外管直径 |
100mm |
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内管直径 |
80mm |
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气体保护方式 |
外管进气，内管出气 |
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压力保护 |
管内自动恒压（0.8～1.2个大气压任意可调） |
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样品冷却 |
加热后炉膛自动移开，冷气打开直吹样品，降到设定温度自动关闭冷却气体。 |
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冷却气体调节 |
浮子流量计(100～1000ml/min) |
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超温保护 |
温度出现过高时切断主回路 |
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式样有效空间 |
90*100mm |
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真空系统 |
8L/S双级联真空系统 |
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整机真空度 |
0.5Pa |
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真空启动方式 |
根据程序设置自动启停 |
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抽气端口尺寸 |
KF16 |
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供气口尺寸 |
1/4英寸双卡套 |
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法兰冷却方式 |
水冷（短时间无需水冷） |
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真空显示 |
数字真空压力表 |
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上位机操控 |
基于安卓系统APP |
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数据导出方式 |
APP导出Excel表格 |
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额定功率 |
12kw |
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外形尺寸 |
950*500*560mm |
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重量 |
50kg |
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配件 |
管堵2支，法兰水冷套1支，耐温手套1双，坩埚钳1把，说明书1本。 |
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