
该款质量流量计是按照气体的原子质量计算流量大小,其精度度高。核心流量检测仪采用七星华创的高精度检测仪,额定精度达到0.05SCCM。




技术参数:
| 产品名称 | 三路质子气体配比器 | 
| 产品型号 | 3Z | 
| 流量计类型 | 质子流量计 | 
| 流量计管芯 | 304不锈钢 | 
| 调节阀类型 | 电磁调节阀 | 
| 管道常态 | 常闭 | 
| 流量计外壳 | 黑色铝壳 | 
| 气体种类 | 3种 | 
| 接口尺寸 | 1/4" | 
| 测量精度 | ±1.0%F.S | 
| 线性度 | ±0.5%F.S | 
| 重复精度 | ±0.2%F.S | 
| 压力范围 | -0.1-0.15MPa | 
| A路气体测量范围 | 0~100SCCM | 
| B路气体测量范围 | 0~200SCCM | 
| C路气体测量范围 | 0~500SCCM | 
| 流量控制范围 | 2%~100% | 
| 零点温漂 | 0.6F.S(15~35℃) | 
| 响应时间 | 2S | 
| 工作环境温度 | (15~50℃) | 
| 精度保证温度 | (15~35℃) | 
| 供电电源 | 220V50Hz | 
| 外形尺寸 | L700×W600×H580 | 
| 设备重量 | 43kg | 
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